Wat is het doel van het reinigen van siliciumwafels?

Jul 17, 2023 Laat een bericht achter

Siliciumwafels moeten strikt worden gereinigd bij de productie van halfgeleiderapparaten. Sporenverontreiniging kan ook leiden tot apparaatstoringen. Dus wat is het doel van het reinigen van siliciumwafels?
Het doel van het reinigen van siliciumwafels is het verwijderen van onzuiverheden van oppervlakteverontreiniging, inclusief organische en anorganische stoffen. Sommige van deze onzuiverheden bestaan ​​in de atomaire toestand of ionentoestand, en sommige bestaan ​​in de vorm van dunne films of deeltjes op het oppervlak van de siliciumwafel. leiden tot verschillende defecten.