Thermische oxide siliciumwafel

Thermische oxide siliciumwafel

Thermal Oxide Silicon Wafer zijn siliciumwafels waarop een laag siliciumdioxide (SiO2) is gevormd. Thermische oxide (Si+SiO2) of siliciumdioxidelaag wordt gevormd op een kaal siliciumwafeloppervlak bij verhoogde temperatuur in de aanwezigheid van een oxidatiemiddel door het thermische oxidatieproces.
Aanvraag sturen
Praat nu
Beschrijving
Technische Parameters

Ningbo Sibranch Microelectronics Technology Co., Ltd.:Uw betrouwbare fabrikant van 300 mm siliciumwafels!

 

 

Sibranch Microelectronics, opgericht in 2006 door materiaalwetenschap en techniekwetenschapper in Ningbo, China, heeft tot doel halfgeleiderwafels en -service over de hele wereld te leveren. Onze belangrijkste producten omvatten standaard siliciumwafels SSP (enkelzijdig gepolijst), DSP (dubbelzijdig gepolijst), test-siliciumwafels en eersteklas siliciumwafels, SOI-wafels (Silicon on Insulator) en muntrolwafels met een diameter tot 12 inch, CZ/MCZ/FZ/NTD, vrijwel elke richting, afgesneden, hoge en lage soortelijke weerstand, ultra-vlakke, ultra-dunne, dikke wafers enz.

 

Toonaangevende Dienst

We streven ernaar onze producten voortdurend te innoveren om buitenlandse klanten te voorzien van een groot aantal producten van hoge- kwaliteit die de klanttevredenheid overtreffen. We kunnen ook aangepaste diensten leveren op basis van de eisen van klanten, zoals maat, kleur, uiterlijk, enz. We kunnen de gunstigste prijs en producten van hoge-kwaliteit leveren.

 

Kwaliteit gegarandeerd

We hebben voortdurend onderzoek gedaan en geïnnoveerd om aan de behoeften van verschillende klanten te voldoen. Tegelijkertijd houden we ons altijd aan strenge kwaliteitscontroles om ervoor te zorgen dat de kwaliteit van elk product aan de internationale normen voldoet.

 

Brede verkooplanden

Wij richten ons op de verkoop op overzeese markten. Onze producten worden geëxporteerd naar Europa, Amerika, Zuidoost-Azië, het Midden-Oosten en andere regio's, en worden goed ontvangen door klanten over de hele wereld.

 

Verschillende soorten producten

Ons bedrijf biedt op maat gemaakte diensten voor de verwerking van siliciumwafels, afgestemd op de specifieke behoeften van onze klanten. Deze omvatten onder meer Si Wafer BackGrinding, Dicing, DownSizing, Edge Grinding en MEMS. Wij streven ernaar om op maat gemaakte oplossingen te leveren die de verwachtingen overtreffen en de klanttevredenheid garanderen.

 

Producttypen

 

CZ siliciumwafel

CZ-siliciumwafels worden gesneden uit siliciumstaven met één kristal die zijn getrokken met behulp van de Czochralski CZ-groeimethode, die het meest wordt gebruikt in de elektronica-industrie om siliciumkristallen te laten groeien uit grote cilindrische siliciumstaven die worden gebruikt om halfgeleiderapparaten te vervaardigen. Bij dit proces wordt een langwerpig kristallijn siliciumzaad met nauwkeurige oriëntatietolerantie in een gesmolten siliciumbad met nauwkeurig gecontroleerde temperatuur gebracht. Het kiemkristal wordt langzaam met een strikt gecontroleerde snelheid uit de smelt omhoog getrokken, en kristalstolling van de atomen in de vloeibare fase vindt plaats op het grensvlak. Tijdens dit trekproces roteren het kiemkristal en de smeltkroes in tegengestelde richtingen, waardoor een groot monokristallijn silicium wordt gevormd met een perfecte kristalstructuur van het zaad.

Siliciumoxidewafel

Siliciumoxidewafel is een geavanceerd en essentieel materiaal dat wordt gebruikt in diverse high{0}}technologische industrieën en toepassingen. Het is een kristallijne stof met een hoge-zuiverheid die wordt geproduceerd door de verwerking van hoogwaardige- siliciummaterialen, waardoor het een ideaal substraat is voor veel verschillende soorten elektronische en fotonische toepassingen.

Dummywafel (muntrol)

Dummywafels (ook wel testwafels genoemd) zijn wafels die voornamelijk worden gebruikt voor experimenten en testen en verschillen van algemene wafels voor producten. Dienovereenkomstig worden teruggewonnen wafels meestal toegepast als dummywafels (testwafels).

Goudgecoate siliciumwafel

Met goud-gecoate siliciumwafels en met goud-gecoate siliciumchips worden op grote schaal gebruikt als substraten voor analytische karakterisering van materialen. Materialen die zijn afgezet op met goud-gecoate wafers kunnen bijvoorbeeld worden geanalyseerd via ellipsometrie, Raman-spectroscopie of infrarood (IR)-spectroscopie vanwege de hoge- reflectiviteit en gunstige optische eigenschappen van goud.

Epitaxiale wafel van silicium

Silicium epitaxiale wafels zijn zeer veelzijdig en kunnen in verschillende maten en diktes worden vervaardigd om aan verschillende industriële eisen te voldoen. Ze worden ook gebruikt in een verscheidenheid aan toepassingen, waaronder geïntegreerde schakelingen, microprocessors, sensoren, vermogenselektronica en fotovoltaïsche zonne-energie.

Thermisch oxide droog en nat

Vervaardigd met behulp van de nieuwste technologie en ontworpen om ongeëvenaarde betrouwbaarheid en consistentie in prestaties te bieden. Thermal Oxide Dry and Wet is een essentieel hulpmiddel voor halfgeleiderfabrikanten over de hele wereld, omdat het een efficiënte manier biedt om wafers van hoge- kwaliteit te produceren die aan alle veeleisende eisen van de industrie voldoen.

Siliciumwafel van 300 mm

Deze wafel heeft een diameter van 300 millimeter en is daarmee groter dan traditionele wafelformaten. Dit grotere formaat maakt het kosteneffectiever en efficiënter, waardoor een grotere productieoutput mogelijk is zonder dat dit ten koste gaat van de kwaliteit.

100 mm siliciumwafel

De siliciumwafel van 100 mm is een product van hoge-kwaliteit dat veel wordt gebruikt in de elektronica- en halfgeleiderindustrie. Deze wafer is ontworpen om optimale prestaties, precisie en betrouwbaarheid te bieden die essentieel zijn bij de productie van halfgeleiderapparaten.

Siliciumwafel van 200 mm

De siliciumwafel van 200 mm is ook veelzijdig in zijn toepassingen, met toepassingen in onderzoek en ontwikkeling, maar ook in de productie van grote- volumes. Het kan worden aangepast aan uw exacte specificaties, met opties voor dunne of dikke wafels, gepolijste of ongepolijste oppervlakken en andere functies op basis van uw specifieke behoeften.

 

Wat is thermische oxide-siliciumwafel

 

 

Thermal Oxide Silicon Wafer zijn siliciumwafels waarop een laag siliciumdioxide (SiO2) is gevormd. Thermische oxide (Si+SiO2) of siliciumdioxidelaag wordt gevormd op een kaal siliciumwafeloppervlak bij verhoogde temperatuur in de aanwezigheid van een oxidatiemiddel door het thermische oxidatieproces. Het wordt meestal gekweekt in een horizontale buisoven met een temperatuurbereik van 900 graden ~ 1200 graden, met behulp van een "natte" of "droge" groeimethode. Thermisch oxide is een soort "gegroeide" oxidelaag. Vergeleken met de door CVD afgezette oxidelaag is het een uitstekende diëlektrische laag als isolator met hogere uniformiteit en hogere diëlektrische sterkte. Voor de meeste op silicium{10}}gebaseerde apparaten is de thermische oxidelaag een belangrijk materiaal om het siliciumoppervlak tot rust te brengen en te fungeren als doteringsbarrières en oppervlaktediëlektrica.

 

 
Soorten thermische oxide-siliciumwafels
 

Nat thermisch oxide aan beide zijden van de wafel
Filmdikte: 500Å – 10 µm aan beide zijden
Filmdikte Tolerantie: Doel ±5%
Filmspanning: – 320 ± 50 MPa druk

01/

Nat thermisch oxide aan één zijde van de wafel
Filmdikte: 500Å – 10.000Å aan beide zijden
Filmdikte Tolerantie: Doel ±5%
Filmspanning: -320 ± 50 MPa druk

02/

Droog thermisch oxide aan beide zijden van de wafel
Filmdikte: 100Å – 3.000Å aan beide zijden
Filmdikte Tolerantie: Doel ±5%
Filmspanning: – 320 ± 50 MPa druk

03/

Droog thermisch oxide aan één kant van de wafel
Filmdikte: 100Å – 3.000Å aan beide zijden
Filmdikte Tolerantie: Doel ±5%
Filmspanning: – 320 ± 50 MPa druk

04/

Droog gechloreerd thermisch oxide met vormingsgasgloeien
Filmdikte: 100Å – 3.000Å aan beide zijden
Filmdikte Tolerantie: Doel ±5%
Filmspanning: – 320 ± 50 MPa druk
Kantenproces: beide kanten

Het productieproces van thermische oxide-siliciumwafels

 

De thermische oxidatie van silicium begint door de siliciumwafels in een kwartsrek te plaatsen, algemeen bekend als een boot, dat wordt verwarmd in een kwarts thermische oxidatieoven. De temperatuur in de oven kan onder standaarddruk tussen 950 en 1.250 graden Celsius liggen. Er is een controlesysteem nodig om de wafels binnen ongeveer 19 graden Celsius van de gewenste temperatuur te houden.
Afhankelijk van het type oxidatie dat wordt uitgevoerd, wordt zuurstof of stoom in de thermische oxidatieoven gebracht.
Zuurstof uit deze gassen diffundeert vervolgens van het oppervlak van het substraat via de oxidelaag naar de siliciumlaag. De samenstelling en diepte van de oxidatielaag kunnen nauwkeurig worden geregeld door parameters zoals tijd, temperatuur, druk en gasconcentratie.
Een hoge temperatuur verhoogt de oxidatiesnelheid, maar verhoogt ook de onzuiverheden en de beweging van de verbinding tussen de silicium- en oxidelagen.

Deze eigenschappen zijn vooral ongewenst wanneer het oxidatieproces meerdere stappen vereist, zoals het geval is bij complexe IC's. Een lagere temperatuur levert een oxidelaag van hogere kwaliteit op, maar verlengt ook de groeitijd.

De typische oplossing voor dit probleem is het verwarmen van de wafels bij een relatief lage temperatuur en hoge druk om de groeitijd te verkorten.

Een toename van één standaardatmosfeer (atm) verlaagt de vereiste temperatuur met ongeveer 20 graden Celsius, ervan uitgaande dat alle andere factoren gelijk zijn. Industriële toepassingen van thermische oxidatie gebruiken een druk tot 25 atm bij een temperatuur tussen 700 en 900 graden Celsius.

De oxidegroeisnelheid is aanvankelijk erg snel, maar neemt af omdat zuurstof door een dikkere oxidelaag moet diffunderen om het siliciumsubstraat te bereiken. Bijna 46 procent van de oxidelaag dringt door in het oorspronkelijke substraat nadat de oxidatie voltooid is, waardoor 54 procent van de oxidelaag bovenop het substraat achterblijft.

 

 
Veelgestelde vragen
 

Vraag: Wat is het thermische oxide van een siliciumwafel?

A: Thermische oxidatie is het resultaat van het blootstellen van een siliciumwafel aan een combinatie van oxidatiemiddelen en hitte om een ​​laag siliciumdioxide (SiO2) te maken. Deze laag wordt meestal gemaakt met waterstof- en/of zuurstofgas, hoewel elk halogeengas kan worden gebruikt.

Vraag: Wat zijn de twee belangrijkste oorzaken van thermische oxidatie?

A: Deze oxidatieoven wordt dan onderworpen aan zuurstof (droge thermische oxidatie) of watermoleculen (natte thermische oxidatie). De zuurstof- of watermoleculen reageren geleidelijk met het siliciumoppervlak en vormen een dunne oxidelaag.

Vraag: Wat gebeurt er als een siliciumwafel met zuurstof of stoom in een hogetemperatuuroven wordt geplaatst?

A: Daarentegen wordt thermische oxidatie bereikt door een siliciumwafel bij hoge temperatuur te laten reageren met zuurstof of stoom. Thermisch gegroeide oxiden vertonen over het algemeen superieure diëlektrische eigenschappen vergeleken met afgezette oxiden. De structuur van deze oxiden is amorf; ze zijn echter sterk gebonden aan het siliciumoppervlak.

Vraag: Wat is het verschil tussen nat en droog thermisch oxide?

A: De brekingsindex van WET en DRY Thermal Oxide is niet meetbaar verschillend. De lekstroom is lager en de diëlektrische sterkte is hoger voor DRY dan voor WET Thermal Oxide. Bij zeer lage diktes, minder dan 100 nm, kan de dikte van DRY Oxide nauwkeuriger worden gecontroleerd omdat deze langzamer groeit dan WET Thermal Oxide.

Vraag: Wat is de dikte van de oxidelaag op een siliciumwafel?

A: Er wordt naar verwezen als "oxide", maar ook kwarts en silica. (ongeveer 1,5 nm of 15 Å [angstrom]) die zich vormt op het oppervlak van een siliciumwafel wanneer de wafer wordt blootgesteld aan lucht onder omgevingsomstandigheden.

Vraag: Waarom heeft thermische oxidatie de voorkeur om SiO2 als poortoxide te laten groeien?

A: De groei van siliciumdioxide wordt uitgevoerd met behulp van thermische oxidatie, in een droge of natte omgeving. Voor oxiden van de hoogste kwaliteit, zoals poortoxides, wordt de voorkeur gegeven aan droge oxidatie. Voordelen zijn een langzame oxidatiesnelheid, goede controle van de oxidedikte in dunne oxiden en hoge waarden van het doorslagveld.

Vraag: Hoe verwijder je de oxidelaag van silicium?

A: Siliciumdioxidelagen kunnen op verschillende manieren van siliciumsubstraten worden verwijderd. Eén methode omvat het weken van de wafel in een etsoplossing om het grootste deel van de siliciumoxidelaag te verwijderen, gevolgd door het wassen van het oppervlak van de wafel met een tweede etsoplossing om de resterende siliciumoxidelaag te verwijderen.

Vraag: Wat is het doel van het gebruik van een thermisch gegroeide oxidelaag op een siliciumwafel als startlaag voor onze fabricage?

A: Het proces van thermische oxideafzetting op silicium is een gebruikelijke fabricagemethode voor MEMS-apparaten. Het proces verbetert het oppervlak van siliciumwafels, verwijdert ongewenste deeltjes en resulteert in dunne films met hoge elektrische sterkte en zuiverheid.

Vraag: Wat is het thermische oxide van een siliciumwafel?

A: Thermische oxidatie is het resultaat van het blootstellen van een siliciumwafel aan een combinatie van oxidatiemiddelen en hitte om een ​​laag siliciumdioxide (SiO2) te maken. Deze laag wordt meestal gemaakt met waterstof- en/of zuurstofgas, hoewel elk halogeengas kan worden gebruikt.

Vraag: Wat is de thermische groei van siliciumoxide?

A: De groei van siliciumdioxide vindt plaats 54% boven en 46% onder het oorspronkelijke oppervlak van silicium naarmate silicium wordt verbruikt. De natte oxidatiesnelheid is sneller dan het droge oxidatieproces. Daarom is het droge oxidatieproces geschikt voor de vorming van een dunne oxidelaag om het siliciumoppervlak tepassiveren.

Vraag: Wat is droge oxidatie van siliciumwafels?

A: Meestal wordt zuurstofgas met een hoge-zuiverheid gebruikt om silicium te oxideren. Stikstofgas in het oxidatiesysteem wordt gebruikt als procesgas tijdens inactiviteit van het systeem, het verhogen van de temperatuur, het laden van wafers en het zuiveren van de kamer, omdat stikstof bij de verwerkingstemperatuur niet reageert met silicium.

Vraag: Waarom heeft thermische oxidatie de voorkeur om SiO2 als poortoxide te laten groeien?

A: De groei van siliciumdioxide wordt uitgevoerd met behulp van thermische oxidatie, in een droge of natte omgeving. Voor oxiden van de hoogste kwaliteit, zoals poortoxides, wordt de voorkeur gegeven aan droge oxidatie. Voordelen zijn een langzame oxidatiesnelheid, goede controle van de oxidedikte in dunne oxiden en hoge waarden van het doorslagveld.

Vraag: Hoe werkt thermische oxidatie?

A: Een thermische oxidator verwarmt de VOC's of HAP's tot een precieze temperatuur totdat ze worden geoxideerd. Het oxidatieproces breekt de schadelijke verontreinigingen af ​​in kooldioxide en water. Thermische oxidatiemiddelen zijn ideaal in toepassingen waar deeltjes aanwezig kunnen zijn en waar er een hogere concentratie VOS is.

Vraag: Welk type siliciumsubstraat wordt gebruikt voor oxidatie?

A: Eén kristal<100>silicium of silicium met lichte miscut (<100>±0,5 graad) levert de beste resultaten op. Gematigde doteringsniveaus (weerstandsvermogen van 1-100 Ωcm) hebben de voorkeur. Grotere diameters tot 300 mm zijn gebruikelijk voor thermische oxidatie.

Vraag: Waarom is de oppervlakteconditie zo belangrijk?

A: Een organisch-vrij oppervlak en minimale ruwheid maken uniforme oxidatie mogelijk en minimaliseren defecten in de oxidelaag. Reinigingsprocedures zijn gericht op het verwijderen van organische vervuiling en deeltjes tot in de kleinste details<100/cm2 level.

Vraag: Wat veroorzaakt variatie in de oxidatiesnelheid?

A: De voornaamste factoren zijn de temperatuur en de omgevingsfactoren van het oxidatiemiddel. Parameters zoals dopingconcentratie, defectdichtheid, kristaloriëntatie en oppervlakteruwheid hebben echter ook invloed op de diffusiesnelheden die de oxidatiekinetiek bepalen.

Vraag: Welke problemen kunnen voortkomen uit niet-uniform silicium?

A: Ruimtelijke verschillen in dikte of samenstelling verminderen de prestaties en opbrengst van het apparaat. Uniformiteitsdoelstellingen zijn over het algemeen<±1% variation across a wafer.

Vraag: Hoe zuiver moet het siliciumsubstraat zijn?

A: Hoge zuiverheid met minimale metaal- of kristallografische verontreiniging is essentieel voor de diëlektrische kwaliteit van de poort. Silicium voor geavanceerde knooppunten kan zuiverheidsniveaus van meer dan 11 negens (99,999999999%) gebruiken.

Vraag: Kan siliciumoxide siliciumsubstraten in apparaten vervangen?

A: Nee. Siliciumoxide heeft een isolerende en diëlektrische functie, maar apparaten zoals transistors hebben voor functionaliteit een onderliggend halfgeleidersubstraat zoals silicium nodig. Alleen silicium zelf maakt een efficiënt schakelgedrag mogelijk.

Vraag: Hoeveel silicium wordt er verbruikt tijdens oxidatie?

A: Ongeveer 44% van de initiële oxidedikte is het gevolg van het verbruik van de siliciumwafel zelf. De balans is afkomstig van de zuurstofbron. Deze verhouding bepaalt de uiteindelijke oxidezuiverheid.
Waarom voor ons kiezen

 

Onze producten zijn uitsluitend afkomstig van de vijf grootste fabrikanten ter wereld en toonaangevende binnenlandse fabrieken. Ondersteund door hooggekwalificeerde nationale en internationale technische teams en strenge kwaliteitscontrolemaatregelen.

Ons doel is om klanten uitgebreide één-op-één ondersteuning te bieden, waardoor soepele communicatiekanalen worden gegarandeerd die professioneel, tijdig en efficiënt zijn. Wij bieden een lage minimale bestelhoeveelheid en garanderen een snelle levering binnen 24 uur.

 

Fabrieksshow

 

Onze enorme voorraad bestaat uit 1000+ producten, waardoor klanten al bestellingen vanaf één stuk kunnen plaatsen. Dankzij onze eigen apparatuur voor het in blokjes snijden en achterslijpen, en de volledige samenwerking in de wereldwijde industriële keten, zijn we in staat om snel te verzenden om de klanttevredenheid en het gemak van één aanspreekpunt te garanderen.

01
02
03

 

Ons certificaat

 

Ons bedrijf is trots op de verschillende certificeringen die we hebben behaald, waaronder ons patentcertificaat, ISO9001-certificaat en het National High-Tech Enterprise-certificaat. Deze certificeringen vertegenwoordigen onze toewijding aan innovatie, kwaliteitsmanagement en toewijding aan uitmuntendheid.

01
02
03
04
05
06
07
08
09
10
11
12
13
14

 

Populaire tags: thermische oxide siliciumwafel, China thermische oxide siliciumwafelfabrikanten, leveranciers, fabriek