Waar worden siliciumwafelpolijstpads gebruikt?

Gepolijste wafels zijn het meest gebruikte product en andere siliciumwafelproducten worden geproduceerd door secundaire verwerking op basis van gepolijste wafels.
Gepolijste wafers zijn de meest basale en meest gebruikte siliciumwafels. Gepolijste wafels kunnen direct worden gebruikt om halfgeleiderapparaten te maken, die veel worden gebruikt in geheugenchips en stroomapparaten, en kunnen ook worden gebruikt als substraatmateriaal voor epitaxiale wafels, SOI-siliciumwafels en andere soorten siliciumwafels.
Met het voortdurend kleiner worden van de karakteristieke lijnbreedte van geïntegreerde schakelingen en de steeds fijnere precisie van lithografie, zullen de extreem kleine oneffenheden op de siliciumwafel de vervorming en dislocatie van de grafische weergave van geïntegreerde schakelingen veroorzaken. De productietechnologie voor siliciumwafels wordt geconfronteerd met steeds hogere eisen en uitdagingen. De deeltjesgrootte en zuiverheid van het chipoppervlak hebben ook een directe invloed op de opbrengst van halfgeleiderproducten.
Daarom is het polijstproces erg belangrijk om de vlakheid en reinheid van het siliciumwafeloppervlak te verbeteren. Het belangrijkste principe is het bereiken van de planarisatie van het halfgeleider-siliciumwafeloppervlak en het verminderen van de ruwheid door het verwijderen van de resterende schadelaag op het bewerkte oppervlak.