Bereidingswijze van zonnecel van amorf silicium

Er zijn veel methoden voor zonnecellen van amorf silicium, waaronder plasma-versterkte chemische dampafzetting, reactief sputteren, glimontlading, verdamping van elektronenstralen en thermische ontleding van silaan.
1. Reactieve sputtermethode: gebruik eerst een infraroodlaser om het TCO-geleidende glassubstraat met een laser te beschrijven; voer na het laserafschrijven ultrasone reiniging uit; na het reinigen van het substraat, plaatst u het in een speciale depositiehouder en duwt u het in de oven om voor te verwarmen; voorverwarmen De post-depositie-armatuur wordt in de PECVD-depositievacuümkamer geduwd en het amorfe silicium wordt afgezet met behulp van het PECVD-depositieproces; vervolgens wordt de groene laser gebruikt om een ​​tweede laserkrijt uit te voeren op het afgezette amorfe siliciumsubstraat, en wordt er na het krassen een reiniging uitgevoerd; vervolgens wordt het gereinigde substraat geplateerd met een composietfilm met metalen achterelektroden met behulp van PVD-technologie, en wordt de zinkoxidelaag als een van de composietfilms met metalen achterelektroden afgezet op het oppervlak van de amorfe siliciumlaag, en worden andere lagen met metalen achterelektroden afgezet op de zinkoxidelaag; Gebruik vervolgens de groene laser om de derde lasermarkering op het substraat uit te voeren met de afgezette metalen achterelektrode, en maak deze na het schrijven schoon. Tot nu toe is de structuur van de batterijchip gevormd; daarna wordt de batterijchip gelamineerd en verpakt en worden de aansluitdoos en de voedingsdraden geïnstalleerd. Voer ten slotte prestatietests uit op de componenten en verpak gekwalificeerde producten in dozen. Afhankelijk van de grootte en specificaties van de geproduceerde fotovoltaïsche modules duurt de productiecyclus doorgaans drie tot vier uur.
2. Plasma-versterkte chemische dampdepositiemethode: een reeks depositiekamers wordt gebruikt om een ​​continu programma in de productie te vormen om massaproductie te bereiken. Tegelijkertijd is de zonnecel van amorf silicium erg dun en kan in een gestapeld type worden gemaakt, of worden vervaardigd met behulp van een geïntegreerde circuitmethode. Op een vlak kunnen met een geschikt maskerproces meerdere cellen tegelijk in serie worden gemaakt om een ​​hogere spanning te verkrijgen.
3. Gloeiontladingsmethode: een kwartscontainer wordt geëvacueerd, gevuld met silaan verdund met waterstof of argon, verwarmd met een radiofrequentiestroombron om het silaan te ioniseren om plasma te vormen, en de amorfe siliciumfilm wordt afgezet op het verwarmde substraat hierboven.